Proses instalasinya sendiri memakan waktu sekitar enam bulan dan melibatkan kerja sama antara 250 teknisi dari ASML dan Intel. Setelah instalasi selesai, mesin ini memerlukan beberapa minggu hingga beberapa bulan untuk proses kalibrasi.
EUV berfungsi untuk membuat pola sirkuit dalam wafer silikon dengan ukuran yang sangat kecil, bahkan lebih tipis dari rambut manusia.
Mesin EUV menjadi satu-satunya yang mampu menjalankan tugas ini dengan efisien.
Pembuatan pola sirkuit yang sangat kecil ini penting karena semakin kecilnya ukuran transistor dalam fabrikasi chip.
Dengan demikian, chip dapat memiliki lebih banyak transistor, yang pada gilirannya meningkatkan kinerja dan/atau mengurangi konsumsi daya.
Mesin EUV generasi terbaru, dikenal sebagai High-NA EUV, diharapkan dapat membantu dalam produksi chip dengan fabrikasi 2nm atau lebih kecil. Intel menjadi pelanggan pertama yang membeli mesin ini pada Desember 2023.